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高效過濾器如何檢漏(檢測標準方法和原理)

不同標準對高效過濾器檢漏的方法是不同的,它直接會體現(xiàn)到高效過濾器的完整性上面。如果是用于非終滅菌無菌注射劑的,還將影響到成品的無菌保障。但對于不同的劑型和要求,我們可以選用不同的檢測方法。既滿足風險控制的實際需求,又能夠節(jié)省運行過程的成本。

1.運用文件

1.1美國環(huán)境科學技術協(xié)會(IEST)

IEST-RP-CC034HEPA與ULPA過濾器檢漏試驗

1.2國際標準化組織(ISO)

ISO-14644-3計量和測試方法

1.3歐洲標準(EN)E

N1882-4過濾器滲漏的檢測(掃描法)

1.4中國國家標準(GB)

GB51110-2015潔凈廠房施工及質(zhì)量驗收規(guī)范

2.不同方法的標準對比

不同標準方法規(guī)定的掃描泄漏率基本都是≤0.01%,但實際上它們之間的完整性是存在明顯差異的。只有用EN1822標準檢測的過濾器才能夠標識為H××或者U××,IEST-RPCC034標準有自己A、B、C……劃分等級的指標。

高效過濾器檢漏方法執(zhí)行標準及應用討論

注:1、粒子計數(shù)器只能夠檢測到一個粒徑的氣溶膠粒子

2、光度計能夠檢測到所有粒徑的氣溶膠粒子

3.氣溶膠粒徑的討論

在高效過濾器安裝后的現(xiàn)場檢測,實際上是不可能使用MPPS方法的,只能夠使用粒徑比較接近MPPS粒徑的氣溶膠來檢漏。而且對于多分散的氣溶膠,還要注意它使用的是幾何平均粒徑還是質(zhì)量平均粒徑。目前比較常用氣溶膠和其粒徑的范圍如下表所示。

高效過濾器檢漏方法執(zhí)行標準及應用討論

從上表中的數(shù)據(jù)可以看出,采用PSL單分散氣溶膠中一款比較接近MPPS粒徑的,其檢測結(jié)果的完整性可靠。但PSL氣溶膠在藥廠和FDA的相關規(guī)范中沒有更多的應用描述,缺少相關的數(shù)據(jù)來證明之后不會對產(chǎn)品造成污染。所以一般還是采用DEHS或者PAO氣溶膠來進行現(xiàn)場的檢漏試驗。

高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能試驗檢測(如DOP試驗等),并提供合格證(含性能試驗結(jié)果)對于5級(100級)以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現(xiàn)場應再次進行高效過濾器本體的性能檢測。同時也要為確認高效過濾器的正確安裝狀態(tài)進行泄漏試驗。而在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術中(如0.1μm,1級),由于新風量往往僅是循環(huán)風量的百分之幾,經(jīng)過稀釋上風側(cè)也變成6級(1000級)的程度,因此,在這種情況下,就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。

一、檢測要求

①一般采用粒子計數(shù)器法進行檢漏,被檢高效過濾器必須已檢測過風量,并在設計風速的80%~120%之間運行。

②對于被檢高效過濾器上風側(cè)的微粒濃度符合如下要求。

·對受控粒徑≥0.5μm的濃度,必須大于等于3.5×104pc/L;

·對受控粒徑≥0.1μm的濃度,必須大于等于3.5×106~3.5×107pc/L

潔凈室高效過濾器檢漏

二、檢測方法

采用掃描法對高效過濾器的安裝接頭和主段進行檢查.檢測點距被測表面20~30 mm,測量頭以5~20 mm/s的速度移動,對待檢測的過濾器的全斷面、密封頭和安裝框架進行掃描。

三、檢測設備

1、光散射粒子計數(shù)器,其工作原理是利用空氣中粒子的散射現(xiàn)象發(fā)光,將采樣空氣中粒子的光脈沖信號轉(zhuǎn)換成相應的電脈沖信號來確定粒子數(shù),利用粒子的光散射強度與粒子大小平方的關系來測量粒子大小。儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。國產(chǎn)的Y09等系列粒子計數(shù)器,進口的Royco–;245粒子計數(shù)器均屬于此類粒子計數(shù)器

2、激光粒子計數(shù)器,其工作原理與光散射粒子計數(shù)器基本相同,但由于使用了比光散射粒子計數(shù)器強100倍的He-Ne激光源,粒子大小的探測范圍為0.1M。

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