半導體工廠空氣過濾器:為什么必不可少?了解一下
現在半導體工廠對生產環境的清潔度特別批判,對空氣過濾器的要求也越來越嚴格,在半導體工廠,半導體工廠對空氣過濾器起著特別重要的作用,是必不可少的。讓我們一起來理解一下。
空氣中海鹽顆粒是所有電子工業的大敵,但空氣中海鹽粉塵顆粒較大,普通過濾器可以過濾。據說從事電子工業的理想場所應該遠離海岸,但是沿海地區經濟發達,芯片工廠像蜂一樣建在沿海地區,在過濾器上花更多的錢。
活性炭過濾器的過濾等級技術使潔凈室的粉塵濃度幾乎為零,想要更干凈。芯片線寬小到0.5mm時,發現空氣中的化學污染物成為影響成品率的主要危害,因此在線寬小于0.5mm的芯片工廠空調系統中普遍配置了精密空氣過濾器。精密空氣過濾器的原理和制造技術并不復雜。那是活性炭過濾器,但傳統的活性炭過濾器制造商和軍需工廠沒有乘坐芯片工廠的巴士。芯片工廠深圳活性炭過濾器大多由空調過濾器制造商提供。
化學污染物的來源可能是:室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。大多數情況下,設計師和現場工作人員不能說清污染物的種類和濃度,因此提供的化學過濾器至少應具有廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料兩個特點。廣譜吸附是指什么都能吸附,具有這種功能的是普通便宜的粒子活性炭。如果能確定污染物的種類,可以對活性炭材料進行有針對性的化學處理,增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應商有時還要提供相應的現場檢測服務,以幫助用戶確定反滲透過濾器的使用情況,這就要求供應商中有搞化學過濾的有經驗的人,并與名氣大的化學實驗室有密切的關系。
半導體工業并不是人們普遍認為的“無煙工業”,也就是說它也是有環境問題的,稍不小心就會造成嚴重的化學污染。因此,為了保險起見,半導體廠一般都會使用空氣過濾器。
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